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宇弘研科技取得用于晶圆加热的高精度热板专利,降低热板的温度波动度:加热板
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金融界2025年6月7日消息,国家知识产权局信息显示,宇弘研科技(苏州)有限公司取得一项名为“一种用于晶圆加热的高精度热板”的专利,授权公告号CN222953032U,申请日期为2024年05月加热板
2025-08-16
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